型号:XP-703DIII 类别: 气体分析仪 品牌: pdf资料:日本新宇宙NEW-COSMOS XP-703DIII半导体材料气体探测器,XP-703DIII泄漏检测仪.pdf
模型
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XP-703DIII半导体材料气体探测器
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检测对象气体
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半导体材料气体(ar,膦,乙硼烷,硅烷,氢)
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气体取样方法
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自动吸式
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检测原理
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热线半导体类型
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胂
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膦
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乙硼烷
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硅烷
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氢
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可检测
泄漏量 |
2.53×10 -7
Pa•m 3 / s |
1.52×10 -7 Pa•m 3 / s |
1.01×10 -7 Pa•m 3 / s |
2.53×10 -7 Pa•m 3 / s |
5.07×10 -7 Pa•m 3 / s |
可检测浓度
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0.5 ppm
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0.3 ppm | 0.2 ppm | 0.5 ppm | 1.0 ppm |
响应时间
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在10秒内(浓度为可检测浓度3倍的气体的灵敏度设置[4])
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显示方式
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间歇性声音和警报灯闪烁
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供电电源
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2节AA碱性电池
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连续使用时间* 1
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约12小时(AA碱性电池)[在室温和湿度下]
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防护等级* 2
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相当于IP22
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工作温度范围
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0℃〜+ 40℃相对湿度85%以下(无凝露)
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外形尺寸
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宽38 x高130 x深32毫米(不包括突起)
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块
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约190g(包括电池和皮套)
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标准配件
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皮套,排水过滤器,更换过滤器元件,附件,检查气体,手带,2节AA碱性电池等
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* 1可能因环境条件,使用条件,电池制造商等而异。
* 2穿着皮套时。
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